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TU Berlin

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Jeol JXA-8530F

Lupe

Elektronenstrahlmikrosonde mit Schottky Feldemissionskathode für Elementanalytik mit hoher lateraler Auflösung (< 100 nm) und geringer Nachweisgrenze
(einige 10 ppm)

Ausstattung:

  • 4 XCE Spektrometer mit 2 bzw. 3 Kristallen und hoher spektraler Auflösung (detektierbarer Elementbereich: 5B bis 92U)
  • 1 H-type Spektrometer mit 2 Kristallen für hohe Intensitäten und schnelles Mapping
  • EDX-System mit SDD-Detektor
  • BSE-Detektor
  • Probentisch mit Mikroschrittmotoren
  • Probenschleuse
  • Magnetfeldkompensationssystem

Die Elektronenstrahlmikrosonde wurde von der Europäischen Union  im Rahmen des EFRE-Projekts "Nano-Analytiklabor" gefördert.

Lupe

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Ansprechpartner

Jörg Nissen
+49 (0)30 314-26412
KWT-Altbau
Raum 01a