Elektronenstrahlmikrosonde mit Schottky Feldemissionskathode für Elementanalytik mit hoher lateraler Auflösung (< 100 nm) und geringer Nachweisgrenze
(einige 10 ppm)

Ausstattung:

• 4 XCE Spektrometer mit 2 bzw. 3 Kristallen und hoher spektraler Auflösung (detektierbarer Elementbereich: ₅B bis ₉₂U)
• 1 H-type Spektrometer mit 2 Kristallen für hohe Intensitäten und schnelles Mapping
• EDX-System mit SDD-Detektor
• BSE-Detektor
• Probentisch mit Mikroschrittmotoren
• Probenschleuse
• Magnetfeldkompensationssystem

Die Elektronenstrahlmikrosonde wurde von der Europäischen Union  im Rahmen des EFRE-Projekts "Nano-Analytiklabor" gefördert.