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Jeol JXA-8530F
Elektronenstrahlmikrosonde mit Schottky Feldemissionskathode für Elementanalytik mit hoher lateraler Auflösung (< 100 nm) und geringer Nachweisgrenze
(einige 10 ppm)
Ausstattung:
- 4 XCE Spektrometer mit 2 bzw. 3 Kristallen und hoher spektraler Auflösung (detektierbarer Elementbereich: 5B bis 92U)
- 1 H-type Spektrometer mit 2 Kristallen für hohe Intensitäten und schnelles Mapping
- EDX-System mit SDD-Detektor
- BSE-Detektor
- Probentisch mit Mikroschrittmotoren
- Probenschleuse
- Magnetfeldkompensationssystem
Die Elektronenstrahlmikrosonde wurde von der Europäischen Union im Rahmen des EFRE-Projekts "Nano-Analytiklabor" gefördert.