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TU Berlin

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Unsere Geräte und Analysenverfahren

Wir sind Spezialisten für die

  • quantitative Elementanalyse von Festkörpern mit hoher Ortsauflösung, für die
  • höchstauflösende Abbildung von Objektstrukturen, für die
  • hochauflösende Oberflächenabbildung, für die
  • Analyse von kristallinen Strukturen und für die
  • Strukturierung von Proben auf der nm-Skala.

 

Es stehen die folgenden Verfahren zur Verfügung:

Konventionelle Rasterelektronenmikroskopie SEM

  • Auflösung 5 nm
  • Röntgenanalyse (EDX) qualitativ und quantitativ
  • Mikro-Röntgenfluoreszenz-Spektrometrie (µRFA)
  • EBSD-System (Electron Backscatter Diffraction)
  • Fast X-ray mapping

Hochauflösende Rasterelektronenmikroskopie HR-SEM

  • Auflösung 2 nm
  • Röntgenanalyse (EDX) qualitativ und quantitativ
  • Low Voltage SEM

Konventionelle Transmissionselektronenmikroskopie (S)TEM

  • Punktauflösung 0.24 nm
  • Röntgenanalyse (EDX) qualitativ
  • Elementanalyse über Beugungsaufnahmen
  • STEM mit EDX,BF, ADF1, ADF2 und HAADF

HRTEM

Focused Ion Beam FIB

  • hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop
  • Analytik SDD-EDX, BSE und STEM
  • hochauflösender Rasterionenstrahl
  • Strukturierung durch Abtrag auf der nm-Skala
  • Strukturierung durch Pt- und W-Abscheidung auf der nm-Skala

Mikrosondenanalytik MiSo (EPMA)

  • Bildauflösung: 3 nm
  • Analyseauflösung: < 100 nm
  • Nachweisgrenze: einige 10 ppm
  • Quantitative Elementanalyse (WDX und EDX)
  • X-ray mapping (WDX und EDX)
  • Dünnschichtanalysen zur Bestimmung von Schichtdicken und Schichtzusammensetzung

Lichtmikroskopie LiMi

  • Auflicht / Durchlicht
    mit Hellfeld-, Dunkelfeld- oder Polarisationskontrast
  • Interferenzkontrast nach Nomarski
  • Fluoreszenzanregung
  • Stereomikroskopie
  • Bildanalyse

Zusatzinformationen / Extras

Quick Access:

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Auxiliary Functions

Leiter

Dr. Ing. Dirk Berger
+49 (0)30 314-23484
KWT-Altbau
Room KWT-A 06

Sekretariat

Irene Preuß
+49 (0)30 314-23423
KWT-Altbau
Room 05

Postanschrift

Technische Universität Berlin
ZE Elektronenmikroskopie
sec. KWT 2 / Abt. ZELMI
Straße des 17. Juni 135
10623 Berlin
Germany