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Unsere Geräte und Analysenverfahren
Wir sind Spezialisten für die
- quantitative Elementanalyse von Festkörpern mit hoher Ortsauflösung, für die
- höchstauflösende Abbildung von Objektstrukturen, für die
- hochauflösende Oberflächenabbildung, für die
- Analyse von kristallinen Strukturen und für die
- Strukturierung von Proben auf der nm-Skala.
Es stehen die folgenden Verfahren zur Verfügung:
Konventionelle Rasterelektronenmikroskopie SEM
- Auflösung 5 nm
- Röntgenanalyse (EDX) qualitativ und quantitativ
- Mikro-Röntgenfluoreszenz-Spektrometrie (µRFA)
- EBSD-System (Electron Backscatter Diffraction)
- Fast X-ray mapping
Hochauflösende Rasterelektronenmikroskopie HR-SEM
- Auflösung 2 nm
- Röntgenanalyse (EDX) qualitativ und quantitativ
- Low Voltage SEM
Konventionelle Transmissionselektronenmikroskopie TEM
- Punktauflösung 0.24 nm
- Röntgenanalyse (EDX) qualitativ
- Elementanalyse über Beugungsaufnahmen
Focused Ion Beam FIB
- hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop
- Analytik SDD-EDX, BSE und STEM
- hochauflösender Rasterionenstrahl
- Strukturierung durch Abtrag auf der nm-Skala
- Strukturierung durch Pt- und W-Abscheidung auf der nm-Skala